El interferómetro diferencial permite realizar medidas diferenciales de desplazamientos entre dos espejos planos con una precisión muy por debajo de la micra. El haz láser que incide en el interferómetro se divide en su interior en cuatro haces, dos para referencia y otros dos para medida, lo cual hace que sea muy tolerante a cambios tales como la expansión térmica o variaciones de las características del aire, pues afectan a ambos haces por igual. El interferómetro permite realizar medidas lineales y también angulares entre los espejos.